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发布时间:2025-12-09 08:56:14  点击量:

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  Universal-H300是yl6809永利面向行业前沿需求,,,,,, ,,开发的一款集先进抛光工艺、高效率、高稳固性于一体的12英寸CMP装备。 。。。。。该装备接纳立异抛光系统架构,,,,,, ,,可实现抛光效率的显著提升,,,,,, ,,配备更先进的洗濯手艺,,,,,, ,,可知足日益提高的清洁度需求。 。。。。。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平展化,,,,,, ,,知足先进制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-300 T是在yl6809永利先进CMP装备基础上,,,,,, ,,凭证行业前沿手艺需求开发的领先型12英寸CMP装备。 。。。。。该装备基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位,,,,,, ,,集成多种终点检测手艺,,,,,, ,,并搭载更先进的组合洗濯手艺,,,,,, ,,展现出更卓越的清洁效果。 。。。。。该装备可实现晶圆纳米级全局平展化,,,,,, ,,知足先进制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-300 X 是凭证目今高端市场需求开发的先进12英寸CMP装备。 。。。。。该装备运用了yl6809永利具有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,集成多种先进终点检测手艺,,,,,, ,,高效稳固、工艺组合无邪,,,,,, ,,可实现晶圆纳米级全局平展化,,,,,, ,,知足先进制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-300 Dual 是基于yl6809永利自主知识产权立异手艺研发的成熟12英寸CMP装备。 。。。。。该装备配备多组性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,集成多种先进终点检测手艺,,,,,, ,,优异的工艺可调性和稳固性,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-300 E 是凭证中高端市场需求开发的成熟12英寸CMP装备。 。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,集成多种先进终点检测手艺,,,,,, ,,卓越的工艺稳固性、高生产效率,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-300 B 是基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺开发的12英寸CMP装备。 。。。。。该装备配备性能优越的抛光单位,,,,,, ,,兼容4/6/8/12英寸晶圆,,,,,, ,,适用于多种材质,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,占地面积小、性价比高,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-TGS200是一款第三代半导体质料(SiC)专用化学机械抛光装备。 。。。。。该装备设置了三组基于单盘双头架构的抛光??? ? ? ? ?,,,,,, ,,集成后道洗濯手艺,,,,,, ,,支持晶圆正反抛光工艺,,,,,, ,,具有高度自动化和高加工效率的特征。 。。。。。其适用于SiC晶圆衬造、抛光耗材性能验证、先进CMP工艺参数开发等领域。 。。。。。

  Universal-200 Smart 是凭证目今市场需求开发的成熟8英寸CMP装备。 。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,集成多种先进终点检测手艺,,,,,, ,,产量高、性能稳固、工艺组合无邪,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路、先进封装、硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-200是凭证目今市场需求开发的成熟8英寸CMP装备。 。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位,,,,,, ,,兼容4/6/8/英寸晶圆,,,,,, ,,适用于多种材质,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,普遍应用于硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺。 。。。。。

  Universal-200 W 是针对快速增添的新兴市场需求开发的成熟CMP装备。 。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位,,,,,, ,,兼容4/6/8英寸晶圆,,,,,, ,,适用于多种材质,,,,,, ,,产品干进湿出。 。。。。。该装备占地面积小、产出效率高,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-200 D 是基于yl6809永利自主知识产权立异手艺开发的成熟8英寸CMP装备。 。。。。。该装备配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,集成多种先进终点检测手艺,,,,,, ,,适用于多种材质,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  Universal-150 Smart 是凭证目今市场需求开发的成熟6英寸CMP装装备。 。。。。。该装备拥有自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的抛光单位及洗濯单位,,,,,, ,,兼容6/8英寸晶圆,,,,,, ,,适用于多种材质,,,,,, ,,可实现晶圆外貌的超高平整度,,,,,, ,,工艺搭配无邪、产出率高,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求,,,,,, ,,已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。 。。。。。

  iPUMA-LE是yl6809永利在已有成熟笔直带状束流的基础上,,,,,, ,,凭证行业先进手艺的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。 。。。。。该装备运用了先进的束流爬坡手艺,,,,,, ,,集成了磁场和电场??? ? ? ? ?,,,,,, ,,并搭载精准的量测手艺,,,,,, ,,展现了优异的离子筛选能力和精准度,,,,,, ,,知足多种制程手艺需求,,,,,, ,,已在集成电路制造中应用。 。。。。。

  iPUMA-HT是yl6809永利在已有成熟大束流的基础上,,,,,, ,,凭证先进器件手艺的要求开发的12英寸高温离子注入机。 。。。。。该装备配备了高温事情??? ? ? ? ?,,,,,, ,,温度检测单位和冷却??? ? ? ? ?,,,,,, ,,知足先进制程手艺需求,,,,,, ,,已在先进逻辑等集成电路制造中应用。 。。。。。

  iPUMA-HP是yl6809永利在已有成熟大束流的基础上,,,,,, ,,刷新成12英寸氢离子大束流离子注入机。 。。。。。该装备配备了优异的粒子筛选和冷却??? ? ? ? ?,,,,,, ,,知足薄膜转移手艺工艺中颗粒数和工艺温度的控制,,,,,, ,,还能够通过硬件升级提升产能的需求,,,,,, ,,已在大硅片制造中应用。 。。。。。

  iPUMA-LT是yl6809永利在已有成熟大束流的基础上,,,,,, ,,凭证成熟器件手艺的要求开发的12英寸低温离子注入机。 。。。。。该装备配备了低温事情??? ? ? ? ?,,,,,, ,,温度检测单位和回温??? ? ? ? ?,,,,,, ,,知足成熟制程手艺需求。 。。。。。

  iPUMA-H是yl6809永利在已有粒子加速器基础上,,,,,, ,,开发出来的12英寸氢高能离子注入机。 。。。。。该装备运用了奇异的加速器手艺,,,,,, ,,使得氢离子获取很高的能量。 。。。。。该装备装配薄片传输装置,,,,,, ,,知足了功率器件的需求。 。。。。。

  Versatile-GP300 是凭证目今3D IC制造、先进封装等高端市场需求开发的先进12英寸超细密晶圆减薄装备。 。。。。。该装备通过新型整机立异结构,,,,,, ,,集成先进的超细密磨削、CMP及后洗濯工艺,,,,,, ,,设置卓越的厚度误差与外貌缺陷控制手艺,,,,,, ,,可提供多种系统功效扩展选项,,,,,, ,,具有高精度、高刚性、工艺开发无邪等优点。 。。。。。Versatile-GP300可无邪拓展、研发多种设置,,,,,, ,,极大知足了3D IC制造、先进封装等领域中晶圆超细密减薄手艺需求。 。。。。。

  Versatile-GM300是面向封装领域立异研发的超细密晶圆减薄装备。 。。。。。该装备接纳新型结构,,,,,, ,,可实现薄型晶圆背面超细密磨削与应力去除;;;;; ;;兼容8/12英寸晶圆,,,,,, ,,搭载晶圆贴膜机联机使用,,,,,, ,,可实现从细密减薄、洗濯干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动化作业;;;;; ;;高可靠性的晶圆搬运系统有用降低薄型晶圆破损危害。 。。。。。该装备依托卓越的厚度在线量测与外貌缺陷控制手艺,,,,,, ,,具有高精度、高刚性、工艺开发无邪等优点,,,,,, ,,知足封装领域的薄型晶圆加工需求。 。。。。。

  Master-BN300是一款基于行业前沿需求开发的12英寸晶圆边沿细密抛光装备。 。。。。。该装备集成高精度抛光、高效洗濯和精准量测功效,,,,,, ,,接纳??? ? ? ? ?榛杓,,,,,, ,,兼容多种工艺和应用领域的需求。 。。。。??? ? ? ? ?上灾嵘г脖哐氐墓饨喽,,,,,, ,,知足半导体制造领域对高精度边沿处置惩罚的手艺要求,,,,,, ,,并已在存储芯片、先进封装等要害制程中获得应用。 。。。。。

  Versatile-DT300是yl6809永利推出的一款高效率、高清洁度的全自动双轴晶圆边沿修整装备,,,,,, ,,用于精准解决晶圆减薄时边沿崩边问题,,,,,, ,,提高减薄质量。 。。。。。该装备集切割、传输、洗濯、量测等多个单位为一体,,,,,, ,,设置多轴联动高细亲近割手艺、全自动传输及高清洁度洗濯手艺,,,,,, ,,并搭载高区分率视觉瞄准及先进的量测系统。 。。。。。Versatile-DT300具备高性能且尺寸紧凑、工艺无邪、多模式组合、多功效设置等优点,,,,,, ,,极大知足存储芯片、图像传感器、先进封装等多种晶圆制造工艺及产品的各项手艺需求。 。。。。。

  HSC-F3400机型是yl6809永利面向大硅片终端洗濯市场特殊需求研发的一款高性能装备,,,,,, ,,接纳卓越的颗粒与金属污染控制系统,,,,,, ,,具备新颖的洗濯及干燥??? ? ? ? ?,,,,,, ,,搭载高性能卡盘夹持手艺。 。。。。。

  HSC-F2400应用于4/6/8英寸化合物半导体质料的终端洗濯。 。。。。。该装备基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的单片洗濯机??? ? ? ? ?楹退嫠⑾茨??? ? ? ? ?,,,,,, ,,集成多种化学药液,,,,,, ,,并搭载先进的物理洗濯要领,,,,,, ,,展现出更卓越的清洁效果。 。。。。。该装备知足多种化合物半导体质料的需求,,,,,, ,,已在化合物半导体领域批量应用。 。。。。。

  HSC-I2402应用于4/6/8英寸化合物半导体质料的历程洗濯。 。。。。。该装备基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备性能优越的单片洗濯机??? ? ? ? ?楹退嫠⑾茨??? ? ? ? ?,,,,,, ,,集成多种化学药液,,,,,, ,,并搭载先进的物理洗濯要领,,,,,, ,,展现出更卓越的清洁效果。 。。。。。该装备知足多种化合物半导体质料的需求,,,,,, ,,已在化合物半导体领域批量应用。 。。。。。

  HSC-S1300是yl6809永利面向市场需求研发的主要应用于4/6/8英寸化合物半导体的刷片洗濯装备,,,,,, ,,具备正面和背面刷洗功效,,,,,, ,,集成性能优越的洗濯及干燥手艺,,,,,, ,,兼容酸性溶液洗濯/碱性溶液洗濯、透光/不透光晶片洗濯。 。。。。。

  HSC-S3810是凭证行业前沿手艺研发的刷片洗濯装备,,,,,, ,,该装备基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,搭载优越的参数闭环控制系统,,,,,, ,,具备正、背面及边沿洗濯功效,,,,,, ,,可实现无损伤洗濯,,,,,, ,,机台占地面积小、产量高。 。。。。。

  HCC-3080S是应用于4/6/8/12英寸晶圆片盒的洗濯装备,,,,,, ,,接纳yl6809永利立异手艺,,,,,, ,,搭载性能优越的水接纳装置,,,,,, ,,其奇异的双门设计可实现洗濯前后片盒的自力装载与移出,,,,,, ,,高环保、低消耗。 。。。。。

  HBC-E3500是yl6809永利基于市场生长前沿、面向客户需求自主研发的一款槽式洗濯装备,,,,,, ,,具备较强的兼容性,,,,,, ,,支持多种工艺配方混淆运行,,,,,, ,,接纳客制化、??? ? ? ? ?榛杓,,,,,, ,,设置无邪,,,,,, ,,知足差别客户的工艺要求。 。。。。。

  HCDS系列化学品供应系统,,,,,, ,,接纳客制化、??? ? ? ? ?榛杓,,,,,, ,,设置无邪,,,,,, ,,具有实时、高精度在线配比系统,,,,,, ,,可实现参数闭环控制,,,,,, ,,知足半导体制造历程中湿法工艺装备的洗濯液等化学品供应需求,,,,,, ,,操作维护便捷,,,,,, ,,具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱,,,,,, ,,设置无邪等优点。 。。。。。

  HSDS系列研磨液供应系统接纳客制化、??? ? ? ? ?榛杓,,,,,, ,,设置无邪,,,,,, ,,具有实时、高精度在线配比系统,,,,,, ,,可实现浓度、流量、压力等参数闭环控制,,,,,, ,,知足半导体制造历程中湿法工艺装备的研磨液等供应需求,,,,,, ,,操作维护便捷,,,,,, ,,具有高可靠性、清静性和低维护保养本钱,,,,,, ,,设置无邪等优点。 。。。。。

  Central Delivery System HSDS-AD2501是在yl6809永利Local装备基础上,,,,,, ,,凭证行业前沿手艺需求开发的大型集中供应系统。 。。。。。该装备基于yl6809永利自主知识产权的立异手艺,,,,,, ,,配备优异的硬件系统,,,,,, ,,集成多种样品在线检测手艺,,,,,, ,,并搭载更优异的控制手艺,,,,,, ,,展现出强力且稳固的供应能力。 。。。。。该装备可实现多种液体的集中供应,,,,,, ,,知足厂务系统多路液体需求。 。。。。。

  金属膜厚量测装备,,,,,, ,,是基于电涡流原理举行的非接触式丈量,,,,,, ,,事情高效,,,,,, ,,可举行无损伤量测,,,,,, ,,精度高、丈量效果可靠准确,,,,,, ,,同时量测数据可以举行自动化处置惩罚,,,,,, ,,主要应用于 Cu、Al、W、Co 等金属制程。 。。。。。

  yl6809永利拥有标准的晶圆再生生产车间,,,,,, ,,专业的CMP/Wet洗濯手艺团队,,,,,, ,,可凭证客户种种制程要求,,,,,, ,,提供全方位的手艺支持、销售和代工效劳。 。。。。。

  要害耗材与维保效劳主要为客户提供CMP装备要害易磨损零部件的维保、更新效劳。 。。。。;;;;; ;l6809永利拥有一批具备多年大线履历的工艺团队,,,,,, ,,致力于为客户提供成套解决计划;公司自主可控的高稳固性供应链系统,为装备稳固运行保驾护航。 。。。。。

  yl6809永利(简称“yl6809永利”,,,,,, ,,股票代码:688120)是一家拥有焦点自主知识产权的高端半导体装备制造商,,,,,, ,,公司主要产品包括CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、离子注入装备、边沿抛光装备、晶圆再生、要害耗材与维保效劳,,,,,, ,,打造“装备+效劳”的平台化战略结构。 。。。。。公司主要产品及效劳已普遍应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、MicroLED等制造工艺。 。。。。。

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